사업개요 : 반도체 핵심 공정에서 사용되는 공정가스(F-gas 등) 저감 기술의 실증 및 성능검증을 지원하여 관련 기업의 기술 신뢰성 확보 및 사업화 촉진

추진배경 : 반도체 산업의 성장에 따른 공정가스 저감 기술의 중요성 증가 및 기업 보유 기술의 현장 적용을 위한 실증·검증 기반 필요

지원대상

• 평택시 내 주사무소 또는 공장등록 중소·중견기업

지원규모

• 총 5개사 / 총 사업비 97,540천원

세부내용 : 반도체 공정가스 저감 기술 실증 및 테스트베드 구축

• 기업 대상 공정가스 저감 기술 수요조사 및 실증기술 발굴
• 공정가스 저감 기술 실증을 위한 테스트베드 구축
• 참여기업 대상 기술실증·기술컨설팅·성능검증 지원
• 실증 결과 기반 기술 고도화 및 사업화 연계

기대효과 : 반도체 공정가스 저감 기술의 현장 적용성 및 신뢰성 확보, 지역 반도체 환경·유틸리티 기업의 기술 경쟁력 강화 및 실증 기반 구축